攻关“卡脖子”技术的科技尖兵

通讯员 方莉

“我国集成电路分为设计、工艺、封装三个部分，工艺这部分目前最弱。”南岸区政协委员、中国电子科技集团公司第二十四研究所（以下简称“24所”）集成电子工艺技术首席专家张正元一直致力于解决“卡脖子”问题，追踪集成电路前沿科技。

“我国第一块大规模集成电路就诞生在24所。”1983年本科毕业后就被分配到24所的张正元细数着老一辈集成电路人的丰功伟绩。上个世纪60年代，一大批留学国外的青年才俊响应祖国号召，放弃优越的生活，来到群山环抱的大西南，来到四川固体电路研究所（现24所），一门心思研究集成电路，创造了我国诸多“第一”。

榜样的力量是无穷的。到24所才两年的张正元就与同事承接了一个填补国内空白的研究项目——研发一款电源管理的核心芯片，作用是降低电子产品自身功耗。该项目研发成功后，脉宽调制电路产品即可摆脱对国外的依赖。张正元干劲十足，多次试错后，他如期完成了研发任务。随即，脉宽调制电路产品实现了国产化，价格降到了国外售价的十分之一。1993年，该技术获得了电子工业部科技进步三等奖。

此战告捷后，追踪世界科技前沿，张正元信心倍增。此时，我国正开展高速高压集成电路研发，急需更成熟的多晶硅发射极工艺。1994年，张正元决定在攻读硕士研究生时专门研究多晶硅发射极工艺。他一本一本仔细翻看世界顶级期刊，深入探索，系统研究再进行一遍又一遍实验。

经过近两年的钻研，张正元在我国首创了高速高压的多晶硅发射极工艺，并用这种工艺为当时国家多项重点工程配套，研发出十多项高速高压集成电路产品，创造了巨大的经济效益和社会效益。

作为24所科技攻关一线的一名核心骨干，2005年，张正元带领团队解决了一项国家重点项目中的电路零点漂移超规范问题，并于2006年获得全国五一劳动奖章。2013年，他瞄准微系统方向进行探索性研究；2014年，促成微系统项目落地，获得国务院政府津贴；2015年，因研究成果突出被中国电子科技集团聘为集成电路工艺方面的首席专家。在致力于集成电路技术前沿研究的路上，张正元越走越远。

执着的努力铸就了辉煌。2017年，张正元承担的一项关于集成电路应用验证的前沿创新项目获得了国家验收专家组“国际先进”的高度评价。在这项研究上，张正元终于攀上了高峰。

经过数十年的潜心研究，张正元收获了累累硕果，拥有12项发明专利，获得了众多国家与重庆市的科技进步奖与发明奖。如今，张正元虽年近花甲，仍踌躇满志。他说，要继续做集成电路研发领域的科技尖兵，努力在提高特色工艺水平上下功夫，为集成电路产业实现弯道超车与国外并跑作出应有的贡献。